芯恩（青岛）集成电路获专利 提升晶圆翘曲度检测技术
近日，芯恩（青岛）集成电路有限公司在其官方网站上发布了一项创新专利，名为“基于WET清洗机台的晶圆翘曲度检测装置”。该专利已经获得国家知识产权局的授权，公告号为CN222505348U，申请日期为2024年3月。这一突破性的技术旨在提升晶圆翘曲度检测 ...