进料的wafer，经过正反面目检和显微镜正面micro检查，进行检查和分选。操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer。 性能描述： 标准配备1个Load port，单臂翻转Robot，Pre-aligner，目检台和显微镜。 兼容8寸和12寸wafer 标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖 ...