激光剥离技术在提高生产效率、降低成本方面具有显著效果,该工艺的推广,对于快速促进8 inch SiC衬底产业化进程有着重要意义。不仅为SiC衬底产业带来了轻资产、高效益的新模式,也为其他硬质材料的加工提供了新的思路和方法,推动材料科学、激光技术等相关领域的进步与发展。