静电驱动因其独特的优势而被广泛应用于微机电系统（MEMS）中。然而，它需要高电压，这通常由电源和高压放大器提供，但高压放大器的增益会受到限制，尤其是在高频率时。为此，人们提出了各种方法，通过将馈入系统的电压信号串联耦合到LC谐振电路来放大 ...

在万物互联的数字化浪潮中，微机电系统（MEMS）作为传感器与执行器的核心技术，正成为智能汽车、消费电子、工业自动化等领域的关键支柱。然而，MEMS设计的复杂性——多物理场耦合、微尺度制造挑战、系统级仿真需求——让许多企业面临研发周期长、成本 ...