MEMS全称Micro-Electro Mechanical System，即微机电系统，是一种微制造技术。微机电系统是集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等集于一块或多块芯片上的微型器件或系统。MEMS产品主要可分为MEMS传感器 ...